• СКАЧАТЬ ТЕЗИСЫ
• Скачать программу

Организаторы

• ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка
• АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград

Научная программа конференции предусматривает следующие секции:

• Диагностика полупроводниковых материалов и структур
• Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
• Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
• Электронно-лучевая и ионная литографии
• Электронно-лучевые технологии в микроэлектронике
• Рентгеновская кристаллооптика
• Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
• Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
• Рентгеновская микроскопия и томография
• Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении

Оргкомитет

• Рощупкин Д.В. - чл.-корр. РАН, д-р физ.-мат. наук, директор ИПТМ РАН - председатель
• Горнев Е.С. - чл.-корр. РАН, д-р техн. наук, АО «НИИМЭ» - заместитель председателя
• Иржак Д.В. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН - учёный секретарь
• Казьмирук В.В. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН
• Казьмирук Л.А. - ИПТМ РАН
• Осипов Н.А. - ИПТМ РАН
• Тельминов О.А. - канд. техн. наук, АО «НИИМЭ»

Программный комитет

• Якимов Е.Б. - д-р физ.-мат. наук, ИПТМ РАН – председатель
• Бушуев В.А. - д-р физ.-мат. наук, МГУ – заместитель председателя
• Авилов А.С. - д-р физ.-мат. наук, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника»
• Аронин А.С. - д-р физ.-мат. наук, ИФТТ РАН
• Асадчиков В.Е. - д-р физ.-мат. наук, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника»
• Боргардт Н.И. - д-р физ.-мат. наук, НИУ МИЭТ
• Васильев А.Л. - канд. физ.-мат. наук, НИЦ «Курчатовский институт»
• Князев М.А. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН
• Николайчик В.И. - д-р физ.-мат. наук, ИПТМ РАН
• Толстихина А.Л. - д-р физ.-мат. наук, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника»

Локальный комитет

• Казьмирук В.В. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН, г. Черноголовка - председатель
• Коротицкий В.И. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
• Осипова Г.Ю. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
• Фролова О.А. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
• Козлов А.В. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка

История

Предыдущая конференция КЭЛТ-21 проводилась с 13 по 17 сентября 2021 года