Новости

Предварительную программу конференции можно скачать по ссылке

Организаторы

• ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка
• АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград

Научная программа конференции предусматривает следующие секции:

• Диагностика полупроводниковых материалов и структур
• Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
• Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
• Электронно-лучевая и ионная литографии
• Электронно-лучевые технологии в микроэлектронике
• Рентгеновская кристаллооптика
• Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
• Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
• Рентгеновская микроскопия и томография
• Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении

Важные даты

• Начало работы конференции
• Окончание работы конференции