Вторая объединённая конференция
«Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»

Черноголовка
13 – 16 ноября 2023 года

Организаторы

Программа конференции

Загрузить Загрузить

09:50 Открытие конференции

Секция 1 Диагностика полупроводниковых материалов и структур

10:00 (online) Бацанов Степан Анатольевич, ИФП СО РАН
Низкотемпературная золото-индуцированная кристаллизация аморфного субоксида кремния

10:20 Шмытько Иван Михайлович, ИФТТ РАН
Аномальный рост микрокристаллов алмаза при комнатной температуре и атмосферном давлении в матрице псевдографита, полученного методом СVD при пиролизе метана в электрическом поле

10:40 Куланчиков Юрий Олегович, ИПТМ РАН
Исследования влияния облучения электронным пучком на электрические свойства SiO2

11:00 (online) Толстихина Алла Леонидовна, ИК РАН
Поверхностные свойства и поверхностные явления в кристаллах твердых растворов (K1-x(ПNH4)x)3H(SO4)2

11:20 Перерыв

11:40 Егоров Владимир Константинович, ИПТМ РАН
Ионно-пучковая диагностика планарных наноструктур

12:00 Тамбура Мамаду , НИТУ МИСИС
Антистатическое покрытие на основе ПБМА содержащее наночастицы графена для повышения эффективности фотоэлектрических модулей

12:20 Загорский Дмитрий Львович, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Микроскопия и элементный анализ нанопроволок различных типов

12:40 Фомин Лев Александрович, ИПТМ РАН
Проявление магнитных свойств в комбинационном рассеянии в гетерогенных нанопроволоках из ферромагнитных сплавов

13:00 Полищук Владимир Анатольевич, Государственный университет ГУМРФ
Взаимодействие двухслойных пленок Zn и Ti при термическом окислении

13:20 - 14:30 Обед

Секция 3 Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография

14:30 Ильина Марина Владимировна, Южный федеральный университет (ЮФУ)
Особенности исследования вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методами сканирующей зондовой микроскопии

14:50 Лапицкая Василина Александровна, Институт тепло- и массообмена имени А.В.Лыкова
Структура и свойства тонкопленочных субмикроструктур после воздействия быстрой термической обработки

15:10 Семенова Елена Михайловна, ТвГУ
Наноструктура высококоэрцитивных постоянных магнитов на основе интерметаллидов типа Sm-Co

15:30 (online) Акимова Ольга Владимировна, МГУ имени М.В. Ломоносова
Анализ поверхности плотных мембранных фильтров на основе палладия методом атомно-силовой микроскопии

15:50 Старухина Софья Сергеевна, Университет МИСиС
Исследование тонких пленок мультиферроика на основе Ba2NdFeNb4O15 методами сканирующей зондовой микроскопии

16:10 Перерыв

Секция 4 Электронно-лучевая и ионная литографии

16:30 Казьмирук Вячеслав Васильевич, ИПТМ РАН
Сравнение производительности электронных литографов с гауссовским и профилированным пучком

16:50 Артемов Владимир Викторович, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Ионная литография хиральных метаповерхностей на основе пленок органо-неорганических металл-галоидных перовскитов

17:10 Лятун Иван Игоревич, БФУ им. И. Канта
Рентгеновская преломляющая микрооптика из аморфных материалов

17:30 Чукалина Марина Валерьевна, ИППИ РАН
Томография на разных масштабах как метод неразрушающего рентгеновского контроля в микроэлектронике

17:50 Стендовые доклады (Секции 1,3,4)

Алиасгари Ренани Реза , МФТИ
Исследование электрически активных дефектов, внесенных в оксид кремния облучением низкоэнергетичными электронами, методами вольт-фарадных характеристик и термостимулированного тока

Алиева Тунзала Джавад гызы, ИФ Министерства науки и образования АР
Электронные и адгезионные явления в контактах структур (Bi-Sn)-Bi0.5Sb1.5Te3  и (Bi-Pb-Sn)-Bi0.5Sb1.5Te3  

Вакулов Захар , ЮФУ
Получение пленок различного состава методом ИЛО для систем машинного зрения робототехнических комплексов

Валиев Хаммат Хафизович, ИПРИМ РАН
Атомная силовая микроскопия полиэтиленовых композитов с аморфным диоксидом кремния

Валуева Светлана Валерьевна, ИВС РАН
АСМ-исследования наночастиц селена, стабилизированных амфифильными молекулярными щетками различной структуры и топологии

Губанова Галина Николаевна, ИВС РАН
Особенности морфологии композитов на основе термостойкого полиамидоимида с Ni-Mg нанотрубками смешанного состава

Иванова Ольга Петровна, ИБХФ РАН
Зависимость электрофизических и структурных свойств пленок нанокомпозитов поли-п-ксилилен- сульфид кадмия от содержния наполнителя

Иванова Ольга Петровна, ИБХФ РАН
Особенности структуры CdS в пленках нанокомпозитов поли- п-ксилилен - сульфид кадмия разной толщины

Клюкина Екатерина Вячеславовна, ИПТМ РАН
Разработка и исследование эффекта резистивного переключения в оксидных наноразмерных структурах титана

Князев Максим Александрович, ИПТМ
Прицельная литография - новая технология наноструктурирования на основе аппаратно-программного комплекса НаноМейкер

Кокатев Александр Николаевич, ПетрГУ
Влияние температуры электролита на морфологию поверхности алюмооксидных нанопористых мембран

Кудрявцева Елена Олеговна, К(П)ФУ
Влияние порядка следования аминокислотных остатков на самосборку олигопептидов на основе фенилаланина

Лапицкая Василина Александровна, Институт тепло- и массообмена имени А.В.Лыкова
Влияние потока азота на структуру и физико-механические свойства тонких покрытий TiN

Назаров Афин Магамед оглы, ИФ МНО
Особенности роста и структура эпитаксиальных пленок  Cd1-xMnxS

Новак Андрей Викторович, АО "Ангстрем"
Оценка силового взаимодействия зонда с поверхностью образца при износе острия в различных режимах работы амплитудно-модуляционной атомно-силовой микроскопии

Подорожний Олег Витальевич, НИУ МИЭТ
Моделирование распыления диоксида кремния фокусированным пучком ионов галлия методом Монте-Карло

Привезенцев Владимир Владимирович, ФГУ ФНЦ НИИСИ РАН
Исследование пленки нитрида кремния, имплантированной ионами цинка и окисленной при повышенных температурах 

Пундиков Кирилл Сергеевич, ИПТМ РАН
Модель ФИП-стимулированного роста аморфных слоев

Румянцев Александр Владимирович, НИУ МИЭТ
Распыление кремния и диоксида кремния фокусированным пучком ионов галлия

Савенко Владимир Семенович, УО МГПУ им.И.П.Шамякина
Исследование модификации микроструктуры и фазовых состояний материала на сканирующем электронном микроскопе в условиях электропластичности

Саенко Александр Викторович, ЮФУ
Исследование резистивного переключения в прозрачных мемристорных структурах на основе ZnO для нейроморфных систем

Сдобняков Николай Юрьевич, ТвГУ
Паттерн формирования фрактального рельефа для наноразмерных плёнок молибдена

Селезнева Елена Вячеславовна, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
Атомная и реальная структуры суперпротонных кристаллов и их корреляция с проводящими свойствами

Серегина Елена Владимировна, Калужский филиал МГТУ им. Н.Э. Баумана
О некоторых результатах анализа нестационарных процессов диффузии и рекомбинации носителей заряда, генерированных электронным зондом в однородной полупроводниковой мишени, при наличии двух каналов рекомбинации

Степанова Кристина Вячеславовна, ПетрГУ
Влияние продолжительности анодирования на морфологию микронаноструктурированных оксидных покрытий на пористых порошковых материалах из губчатого титана

Степович Михаил Адольфович, КГУ им. К.Э. Циолковского
О качественных оценках диффузии неравновесных неосновных носителей заряда в полупроводниковой мишени

Тагиев Маил Масим, И Ф. Министерства на науки и образования А. Р
Влияние размеров зерен на термоэлектрические свойства наноструктурированных экструдированных образцов твердого раствора Bi2Te2,7Se0,3

Текутьева Вероника Олеговна, ВУНЦ ВВС ВВА
Эффект ювенильной поверхности Si (111) при карбидизации подложки кремния

Уткин Дмитрий , ИФП СО РАН
Формирование частиц Ge на поверхности ITO методами электронной и взрывной литографии

Чайка Александр Николаевич, ИФТТ РАН
Атомная структура поверхности Si(557)

Kriukov Ruslan Nikolaevich, ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Неоднородный состав слоев GaAs, выращенных при низких температурах методом импульсного лазерного нанесения

Секция 2 Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ

09:30 (online) Снигирев Леонид Алексеевич, ФТИ им. А.Ф. Иоффе
Особенности преципитации в LT GaAs после предварительного низкотемпературного нагрева

09:50 (online) Пронин Владимир Петрович, РГПУ им. А. И. Герцена
Исследование сферолитовых пленок цирконата-титаната свинца методами растровой электронной микроскопии и силовой микроскопии пьезоэлектрического отклика

10:10 Комаров Юрий Анатольевич, НП "Лаборатория анализа микрочастиц"
Применение растрового электронного микроскопа для обеспечения достоверности результатов масс-спектрометрического анализа микрочастиц урана

10:30 Шабельникова Яна Леонидовна, ИПТМ РАН
Радиационные дефекты в YBa2Cu3O6+x и в выделениях его вторичных фаз, образующиеся при облучении ионами с энергией 0.04-0.8 МэВ/нуклон

10:50 Корнеев Владимир Алексеевич, НИУ МИЭТ
Количественная характеризация геометрических параметров нанообразований на поверхности пленки Ge3Sb2Te6

11:10 Перерыв

11:30 Курганов Илья Геннадьевич, ИПТМ РАН
Зондоформирующая система РЭМ и ЭЛ

11:50 Сухинина Надежда Сергеевна, ИФТТ РАН
Структурные особенности мезопористого углеродного материала, полученного из природного шунгита

12:10 (online) Томаев Владимир Владимирович, СПГТИ(ТУ)
Влияние ускоренных пучков электронов в глубоком вакууме на рост гексагональных кристаллов цинка

12:30 Костюченко Александр Викторович, ФГБОУ ВО "ВГТУ"
Структура нанокристаллических пленок системы Li-Nb-O, синтезированных методом ионно-лучевого распыления и конденсации

12:50 Вергелес Павел Сергеевич, ИПТМ РАН
Исследование влияния методов роста кристаллов GaN на температурную зависимость размера дислокационной розетки после деформации

13:10 - 14:30 Обед

14:30 Заводов Адриан Валентинович, НИЦ "Курчатовский институт" - ВИАМ
Применение методов HAADF-STEM, CBED и EDS к изучению кристаллической структуры фаз в системе Mg-РЗМ-Zn-Zr

14:50 (online) Сушков Артем Александрович, ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Сравнение структурных свойств слоя Ge, выращенного разными методами, на подложке Si (001)

15:10 Суворова Елена Игоревна, ИКРАН
Микроструктура и межфазные границы раздела в сплаве Fe - Cr - Si

15:30 (online) Добрыдень Светлана Викторовна, ВГУ
Характеризация поверхности гетерогенных ионообменных мембран с разной долей и размером частиц ионообменной смолы методом РЭМ

15:50 Перерыв

Секция 5 Электронно-лучевые технологии в микроэлектронике

16:10 Гревцов Никита Леонидович, БГУИР
Электронный отжиг заполненного германием пористого кремния для формирования пленок сплавов кремний-германий

16:30 Панин Геннадий Николаевич, ИПТМ РАН
Фазовый переход в структуре на основе биграфена, наведенный электронным пучком

16:50 Коханчик Людмила Сергеевна, ИПТМ РАН
Особенности формирования сегнетоэлектрических доменных структур с помощью электронного луча в ниобате лития под металлической пленкой

17:10 Гуртовой Владимир Леонидович, ИПТМ РАН
Монокристаллические сверхпроводящие Ta-наностуктуры

17:30 (online) Атаманчук Артём Александрович, ЮФУ
Сублимационный механизм полировки пластин SiC электронным лучом

17:50 Стендовые доклады (Секции 2,5)

Афанасьев Алексей Евгеньевич, МГУ
Особенности морфологии и состава твердых растворов редкоземельно-алюминиевых диметаборатов по данным РЭМ

Бешенков Владимир Григорьевич, ИПТМ РАН
Эпитаксиальные пленки ниобата лития, осажденные диодным вч-распылением на кремний через прослойки иридия и фианита

Буковский Павел Олегович, ИПМех РАН
Исследование трибологических характеристик покрытия MoS2/CaF2/Ag

Волков Роман Леонидович, МИЭТ
Просвечивающая электронная микроскопия наноразмерных слоев многослойных структур

Дремова Надежда , ФИЦ ПХФ и МХ РАН
Polytetrafluoroethylene/cellulose composite aerogels

Зерница Денис Александрович, УО МГПУ им. И.П. Шамякина
Особенности разориентации зёрен в эвтектических сплавах Sn Zn, легированных сурьмой, полученных методом высокоскоростной кристаллизации из расплава

Зыков Алексей Владимирович, МИЭТ
Особенности вычисления матричного элемента возбуждения внутренних оболочек атома

Касумов Юсиф Алекберович, ИПТМ РАН
Роль островков Fe в образовании нанопроволок Bi при осаждении висмута методом ВЧ-диодного распыления

Киреев Георгий Сергеевич, НИУ МИЭТ
Оптимизация метода морфологических водоразделов для анализа РЭМ-изображений агломерированных наночастиц

Клименко Инна Валерьевна, ИБХФ РАН
Влияние графена на агрегационное поведение гибридной супрамолекулярной системы на основе фталоцианина алюминия

Кнотько Александр Валерьевич, МГУ
РЭМ исследование микроструктуры брушитных цементов, полученных из изоморфно замещенного α или β Ca3(PO4)2

Комаров Георгий Дмитриевич, ГУП, ИФТТ РАН
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия фаз Шевреля

Кулыгин Алексей Кириллович, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
Изучение атомной структуры политетрафторэтилена с помощью высокоразрешающей электронографии

Линьков Илья Сергеевич, ЮРГПУ(НПИ) им. М.И. Платова
Исследование морфологических особенностей алкалицеллюлозы методами РЭМ

Лопато Ульяна Павловна, БГУИР
Изучение структуры мезопористого кремния методом растровой электронной микроскопии 

Мясоедов Александр Владимирович, ФТИ им. А.Ф. Иоффе
Структурная характеризация гетеро-интерфейса тонкой плёнки α-Ga2O3, полученной на m-грани подложки сапфира

Никулина Аэлита , НГТУ
Surface peculiarities of Ti-6Al-4V alloy after high speed orthogonal cutting

Плюснин Роман Анатольевич, МИЭТ
Определение параметров асимметричного p-n перехода методом растровой электронной микроскопии

Садовская Наталия Владимировна, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Применение методов рэм, дск для исследования фазовых превращений в терморадиационно модифицированных композитах на основе ПТФЭ

Сазонов Вадим Андреевич, Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Дислокационная структура слоя GaP1-xNx на подложке Si(100) с буферным слоем GaP по данным электронной микроскопии

Сдобняков Николай Юрьевич, ТвГУ
Фрактальный анализ доменов феррит-гранатовых пленок при перемагничивании вблизи дефектов

Степанцов Евгений Аркадиевич, ИКРАН
Получение и исследование эпитаксиальных пленок высокотемпературного сверхпроводника YBa2Cu3Oориентации (010)

Черковский Евгений Николаевич, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Моделирование интерфейса медь-церий в нанокатализаторах CeO2/Cu

Чернышев Богдан Дмитриевич, АО "ВНИИХТ"
Анализ микроструктуры постоянных магнитов на основе систем Fe-Cr-Co и Fe-Sr-O, полученных методом PIM-технологии

Шкалей Иван Владимирович, ИПМех РАН
Исследование морозостойких резин с антифрикционным покрытием

Щербакова Ольга Олеговна, ИПМех РАН
Изучение поверхности трения углеродных тканевых композитов методами РЭМ

Секция 6 Рентгеновская кристаллооптика

09:30 Мартюшов Степан Юрьевич, ФГБНУ ТИСНУМ
Возможности метода Лауэ в исследованиях синтетических алмазов, используемых в рентгеновской оптике и алмазной электронике.

09:55 Поляков Сергей Николаевич, ФГБНУ ТИСНУМ
Перспективы использования тонких алмазных пластин с большой кривизной изгиба в рентгеновской оптике.

10:20 Дигуров Роман Валерьевич, ФГБНУ ТИСНУМ
Расчет параметров сфокусированного рентгеновского пучка с энергией 8.04 кэВ Лауэ кристалл-монохроматором, изготовленным из тонкой алмазной пластины с цилиндрическим изгибом.

10:45 Рощин Борис Сергеевич, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Рентгеновская рефлектометрия слоистых структур-ориентантов для жидкокристаллических дисплеев

11:10 Перерыв

11:30 Кон Виктор Германович, НИЦ КИ
Численное моделирование экспериментов в когерентной оптике и кристаллооптике рентгеновских лучей с программой XRWP

11:55 Смирнова Ирина Алексеевна, ИФТТ РАН
Рентгеновская дифракционная интерферометрия в монокристаллах. Особенности и возможности использования.

12:20 (online) Пунегов Василий Ильич, ФИЦ Коми НЦ УрО РАН
Быстрый численный расчет рентгеновской дифракции от микроэлектромеханических систем

12:45 Суворов Эрнест Витальевич, ИФТТ РАН
Подавление эффекта Бормана при изгибе отражающих плоскостей

13:10 - 14:20 Обед

Секция 7 Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона

14:20 Мохов Дмитрий Владимирович, Алферовский университет
Высокочастотные рентгеновские кремниевые решетки с блеском: отработка технологии изготовления

14:45 Гусева Валерия Евгеньевна, ИФМ РАН
Временные зависимости импульсного мягкого рентгеновского излучения, формируемого в ЛПИ

15:10 Перекалов Александр Алексеевич, ИФМ РАН
Исследование поглощения ЭУФ излучения сверхзвуковыми газовыми струями для определения плотности числа частиц

15:35 Горай Леонид Иванович, Алферовский университет
Высокочастотные рентгеновские кремниевые решетки с блеском: моделирование и измерение дифракционной эффективности в ЭУФ, МР и ЖР диапазонах

16:00 Перерыв

Секция 8 Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур

16:20 Фоломешкин Максим Сергеевич, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Рентгеновский фазово-контрастный микроскоп на основе нанофокусирующей составной преломляющей линзы

16:45 (online) Сороковиков Михаил Николаевич, БФУ им.И.Канта
Рентгенооптическое устройство двумерной фокусировки на основе планарных кремниевых составных преломляющих линз

17:10 Коротков Александр Сергеевич, МНИЦ "КРОМ", БФУ им. И. Канта
Компактный рентгеновский трансфокатор с изменяемым положением линз

17:35 Колесников Алексей Олегович, ФИАН
VLS-монохроматоры высокого разрешения для мягкой рентгеновской области спектра

18:00 Фещенко Руслан Михайлович, ФИАН
Использование 3D параболического уравнения для моделирования пор в трековых мембранах

18:25 Стендовые доклады (Секции 6-10)

Баулин Роман Алексеевич, МГУ им. М.В. Ломоносова
Особенности резонансной рефлектометрии

Дышеков Артур Альбекович, КБГУ
Бескоординатное представление уравнений Максвелла в среде с источниками

Егоров Владимир Константинович, ИПТМ РАН
Развитие рентгеновской нанофотоники на базе явления волноводно-резонансного распространения рентгеновских потоков

Егоров Владимир Константинович, ИПТМ РАН
Элементный анализ планарных наноструктур методом РФА ПВО

Карпов Андрей Вячеславович, ФИЦ Коми НЦ УрО РАН
Теория трёхосевой дифрактометрии кристаллов для пространственно-ограниченных пучков

Нореян Сероб Надирович, ИППФ
Поглощение дифрагированного рентгеновского излучения в монокристалле кварца при внешнем температурном градиенте

Переяславцев Александр Юрьевич, ФГУП «ВНИИА»
Визуализация p-n-перехода методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии

Переяславцев Александр Юрьевич, ФГУП «ВНИИА»
Особенности применения метода КТ в исследованиях образцов микроэлектронных устройств экстремального применения с использованием рентгенопрозрачных материалов

Musayeva Nahida Nazim, IP, AMSE
Sol-gel synthesis and characterization of nickel nanoparticles

Wang Shuxin , Qingdao University of Science & Technology
Understanding the decomposition process of Pt1Ag24(SPhCl2)18 nanocluster at atomic level

Секция 9 Рентгеновская микроскопия и томография

09:30 Григорьев Максим Валентинович, ИПТМ РАН
Аспекты моделирования томографической реконструкции в условиях полихроматического излучения

09:55 Золотов Денис Александрович, ФНИЦ "Кристаллография и фотника" РАН
Спектральная микротомография с использованием кристалла-анализатора

10:20 Дьячкова Ирина Геннадьевна, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
Сравнительное исследование стабильности поверхностей дентальных имплантатов разных систем методами РМТ и ЭМ

10:45 Кривоносов Юрий , ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
Изучение морфологического строения эпифиза головного мозга человека рентгеновскими томографическими и дифракционными методами

11:10 Перерыв

11:30 Асадчиков Виктор Евгениевич, ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
Рентгеновские томографические исследования опорно-двигательного аппарата монгольских песчанок и хрящепалых гекконов после продолжительного космического полета

11:55 Реунов Дмитрий Георгиевич, ИФМ РАН
Высокоапертурный микроскоп на основе многослойных рентгеновских зеркал для биологических применений

12:20 Подурец Константин Михайлович, НИЦ Курчатовский институт
Интерферометр Талбота для фазоконтрастной визуализации на Курчатовском источнике синхротронного излучения

12:45 Бузмаков Алексей Владимирович, ФНИЦ "Кисталлография и фотоника" РАН
Новые методы обработки рентгеновских фазоконтрастных микротомографических изображений методами машинного обучения

13:10 - 14:30 Обед

Секция 10 Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении

14:30 Рощупкин Дмитрий Валентинович, ИПТМ РАН
Исследование свойств пьезоэлектрических кристаллов методом высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии

14:55 (online) Манякин Максим Дмитриевич, ФГБОУ ВО «ВГУ»
Ab initio моделирование и синхротронные исследования поглощения рентгеновского излучения вблизи K-края кислорода в рутиле

15:20 Андреева Марина Алексеевна, МГУ, физический факультет
Исследование ультратонких пленок YFeO3 методом мессбауэровской рефлектометрии на ESRF

15:45 Попов Николай Леонидович, ФИАН
Метод виртуальной линзы для восстановления фазы изображения в ближней зоне

16:10 Закрытие конференции

Информационный партнёр