О конференции
Научная программа конференции предусматривает следующие секции:
- Диагностика полупроводниковых материалов и структур
- Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
- Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
- Электронно-лучевая и ионная литографии
- Электронно-лучевые технологии в микроэлектронике
- Рентгеновская кристаллооптика
- Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
- Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
- Рентгеновская микроскопия и томография
- Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении
Оргкомитет
- Рощупкин Д.В. - чл.-корр. РАН, д-р физ.-мат. наук, директор ИПТМ РАН - председатель
- Горнев Е.С. - чл.-корр. РАН, д-р техн. наук, АО «НИИМЭ» - заместитель председателя
- Иржак Д.В. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН - учёный секретарь
- Казьмирук В.В. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН
- Казьмирук Л.А. - ИПТМ РАН
- Осипов Н.А. - ИПТМ РАН
- Тельминов О.А. - канд. техн. наук, АО «НИИМЭ»
Программный комитет
- Якимов Е.Б. - д-р физ.-мат. наук, ИПТМ РАН – председатель
- Бушуев В.А. - д-р физ.-мат. наук, МГУ – заместитель председателя
- Авилов А.С. - д-р физ.-мат. наук, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника»
- Аронин А.С. - д-р физ.-мат. наук, ИФТТ РАН
- Асадчиков В.Е. - д-р физ.-мат. наук, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника»
- Боргардт Н.И. - д-р физ.-мат. наук, НИУ МИЭТ
- Васильев А.Л. - канд. физ.-мат. наук, НИЦ «Курчатовский институт»
- Князев М.А. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН
- Николайчик В.И. - д-р физ.-мат. наук, ИПТМ РАН
- Толстихина А.Л. - д-р физ.-мат. наук, ФНИЦ «Кристаллография и фотоника»
Локальный комитет
- Казьмирук В.В. - канд. физ.-мат. наук, ИПТМ РАН, г. Черноголовка - председатель
- Коротицкий В.И. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
- Осипова Г.Ю. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
- Фролова О.А. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
- Козлов А.В. - ИПТМ РАН, г. Черноголовка
История
Предыдущая конференция КЭЛТ-21 проводилась с 13 по 17 сентября 2021 года